TJ晶圆切割/晶圆打孔/硅晶圆切割/晶圆划片
晶圆即硅晶片,在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品,用于集成电路。
华诺激光可对晶圆进行各类加工(激光打孔、微孔加工、异形切割、不同尺寸改切、微结构加工),速度快,效率高,效果好。
半导体行业对产品的质量,可靠性和设备产能等都有着相当严格的要求,它是目前国内乃至亚洲地区发展最快、前景最好的行业。如今越来越多的激光应用在被其尝试和被导入其制程中,如硅晶圆划片,陶瓷精密钻孔,玻璃切割等等。此外,MEMS是其中一个脱颖而出的典型代表,华诺激光有多家客户在从事MEMS行业。
传统机械加工硅片的劣势:
传统硅片切割方式是机械切割,速度慢、断面平整性差、碎片多、不环保。硅是一种脆性材料,机械切割极易使边缘产生破裂,造成硅表面弹性应变区、位错网络区和碎晶区的组成层损伤,甚至可能造成隐形裂纹,影响电性参数等危害。激光切割技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;