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TJ单晶硅精密切割半导体晶圆异形切割微小孔加工

放大字体  缩小字体 发布日期:2024-04-02 16:04:35    浏览次数:35    评论:0
导读

TJ单晶硅精密切割半导体晶圆异形切割微小孔加工硅片激光切割的原理:激光切割在 电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用。激光

TJ单晶硅精密切割半导体晶圆异形切割微小孔加工

硅片激光切割的原理:

    激光切割在 电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用。激光切割是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。

应用领域:

激光切割主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割,可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等,工件精细美观,切边光滑。采用连续泵浦声光调Q的Nd:YAG激光器作为工作光源,由计算机控制二维工作台,能按输入的图形做各种运动。输出功率大,划片精度高,速度快,可进行曲线及直线图形切割。

硅片的主要应用于太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上

特点:切割精度高,表面平行度高,翘曲度和厚度公差小,断面完整性好。

华诺激光专注于微米级的激光精密切割、钻孔、蚀刻、刻线、划片、材料去除、构造、雕刻和特殊材料的打标,主要应用于LED芯片制造,触摸屏,LCD,消费类电子,半导体,MEMS,照明,医疗等行业,以及科研、军事、航天航空等领域,涉及包括各种金属及合金、半导体、陶瓷、各种透明材质、薄膜和聚合物等各种材料,公司已经做过1000多个基于以上材料的各种激光微加工试验和方案。

梁工


 
(文/小编)
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